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荷兰阿斯麦新一代极紫外光刻机造价高达1.5亿美元
荷兰阿斯麦的新一代极紫外(EUV)光刻机每台有公共汽车大小，造价1 5亿美元。其前所未有的精度可以让芯片上的元件尺寸在未来几年继续缩小。在
2021-09-02 08:26
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ASML去年交付26台极紫外光刻机，调查公司称约一半面向台积电
据国外媒体报道，半导体行业光刻系统供应商ASML(阿斯麦)去年交付了26台极紫外光刻机(EUV)，调查公司Omdia表示，其中约一半面向大客户台积电
2020-04-09 10:54
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三星EUV极紫外光刻工厂量产
三星宣布，位于韩国京畿道华城市的V1工厂已经开始量产7nm 7LPP、6nm 6LPP工艺，这也是全球第一座专门为EUV极紫外光刻工艺打造的代工厂。
2020-02-21 14:10
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